RGA 殘余氣體分析儀

更新時(shí)間：2025-02-23

簡(jiǎn)要描述：

RGA 殘余氣體分析儀殘余氣體分析儀用于半導(dǎo)體過(guò)程分析分子束外延 MBE

-物理氣相沉積 PVD

-化學(xué)氣相沉積 CVD

-原子層沉積 ALD

-鑒別痕跡污染物 Identification of trace contaminants

-材料滲透率測(cè)試 Material pereability test

型號(hào)：PGT點(diǎn)擊量：965

免費(fèi)咨詢(xún)：86-021-59966206

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RGA 殘余氣體分析儀殘余氣體分析儀用于半導(dǎo)體過(guò)程分析分子束外延 MBE

-物理氣相沉積 PVD

-化學(xué)氣相沉積 CVD

-原子層沉積 ALD

-鑒別痕跡污染物 Identification of trace contaminants

-材料滲透率測(cè)試 Material pereability test

RGA 殘余氣體分析儀公司一直致力于質(zhì)譜研發(fā)與市場(chǎng)應(yīng)用，公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)來(lái)自于高校、研究所和真空行業(yè)，具有十年以上的研發(fā)經(jīng)驗(yàn)。PGT系列是由專(zhuān)業(yè)團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的國(guó)產(chǎn)RGA。憑借對(duì)質(zhì)譜研發(fā)的深入和的產(chǎn)品設(shè)計(jì)以及完善的服務(wù)體系，為不同領(lǐng)域的客戶(hù)提供完整的應(yīng)用解決方案。ACT已成為國(guó)內(nèi)多家院校和半導(dǎo)體企業(yè)的優(yōu)質(zhì)合作伙伴，并且擁有穩(wěn)定可靠的供應(yīng)商體系，儀器在兼具高質(zhì)量的應(yīng)用中性?xún)r(jià)比，是廣大用戶(hù)的理想選擇產(chǎn)品。

RGA 殘余氣體分析儀技術(shù)參數(shù)
型號(hào)	PGT100F	PGT100M	PGT200F	PGT200M
傳感器長(zhǎng)度	14.4cm	19.6cm	14.4cm	19.6cm
質(zhì)量數(shù)范圍	100amu	100amu	200amu	200amu
分辨率（1）	<1amu	<1amu	<1amu	<1amu
燈絲類(lèi)型選項(xiàng)	涂覆氧化釔銥絲雙燈絲/雙鎢燈絲	涂覆氧化釔銥絲雙燈絲/雙鎢燈絲	涂覆氧化釔銥絲雙燈絲/雙鎢燈絲	雙涂覆氧化釔銥絲雙燈絲/雙鎢燈絲
檢測(cè)器類(lèi)型	FC	EM	FC	EM
靈敏度（FC）	2.3E-6A/Pa	2.3E-6A/Pa	2.3E-6A/Pa	2.3E-6A/Pa
靈敏度（EM）	-	3.8A/Pa	-	3.8A/Pa
最小可檢測(cè)分壓（2）	3.5E-10Pa	2E-12Pa	3.5E-10Pa	2E-12Pa
最大傳感器工作溫度（FC）	200℃	N/A	200℃	-
最大傳感器工作溫度（EM）	-	150℃	-	150℃
溫度系數(shù)（3）	<1%/℃	<1%/℃	<1%/℃	<1%/℃
最大烘烤溫度	300℃	300℃	300℃	300℃
最大數(shù)據(jù)速率/點(diǎn)	2ms	2ms	2ms	2ms
最大工作壓強(qiáng)	6.7E-2Pa	6.7E-2Pa	6.7E-2Pa	6.7E-2Pa
電源輸入	24V（DC）	24V（DC）	24V（DC）	24V（DC）
（1）在10%峰高處（2）駐留時(shí)間為256ms情況下（3）在8h的時(shí)間段內(nèi)，半小時(shí)預(yù)熱后，僅FC模式
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